第二代薄膜，就那个，什么系统来着？”

白经理回应着，说着说着，竟然一时蒙住了，没想起来那个词。“低压化学气相淀积系统。”

吴经理淡淡的回答了一句，他还在关心着薄膜。“进行多久了！这个可不能反应太久的。”

张明瑞一听，有些着急了，他怎么也想不到，这两人会趁着他睡着，提前进行下去。“就……刚，二十分钟。”

白经理弱弱的说了一句，他不知道为什么张明瑞反应这么大，就像他们做错了一样。”

得到答案后，张明瑞看了一眼容器里面的硅晶体，果断的拔掉了机器电线。“滋滋滋……”机器发出了刺耳的声音，气体被收了回去，组装好的零件，也各自散开！气体渐渐消失，容器内变的清晰可见，不似刚刚那般模糊了。张明瑞松了一口气，还好赶上了。“啊！咋回事啊！咋滴了！”

吴经理因刚才太过靠近，而被这滋滋声吓了一跳，还以为要爆炸了。“这个低压化学气相淀积系统是有时间限制的，也就是说，时间长了，这个薄膜会变厚，时间短了，薄膜不达标。”

“根据理论测试，这个时间就被定义在了二十一分钟以内，刚刚白大哥说大概二十一分钟了，我这不着急吗，就赶紧拔电源了。”

张明瑞解释着，暗自庆幸，开始找仪器，观察测量薄膜上的厚度。“原来是这样啊！要不是你醒来的及时，我们俩就帮倒忙了啊！”

吴经理挠着后脑勺，有些不好意思，他俩的自作主张，差一点就把这件事搞砸了！好不容易努力到现在，要是真搞砸了，恐怕他俩得哭死。“还不错，时间拿捏的刚刚好，真是多一分太多，少一分不行啊！”

张明瑞放下仪器，露出了完美的笑容。这真的是太幸运了。“别高兴的太早，芯片的外围总共有三次薄膜，第三次是磁控溅射。”

“通过二极溅射中一个平行于靶表面的封闭磁场，和靶表面上形成的正交电磁场。”

“把二次电子束缚在靶表面特定区域，实现高离子密度和高能量的电离，把靶原子或分子高速率溅射沉积在基片上形成薄膜。”

“原理上大概就是这样，一会儿操控的时候，你们离远一点，必要的时候给我递过来一些工具。”

“磁控溅射台操作起来，会比较危险，所以你们在旁边观看就行，保护好自己别受伤。”

张明瑞淡淡的说道，距离成功只差两步了，所以他要早点行动，提前完成进度，这个假期已经没有多长时间了。“好！那你要小心，有什么东西需要我们拿的就吱一声。”

吴经理知道他们是爱莫能助，便将白经理拉倒一旁观看着。张明瑞将芯片小心翼翼的转移到磁控溅射台上，拧开气阀门，将所有气体迅速放出，开腔放入基片，随即关上气阀门。“一抽三冲，这是关键，你们好好看！”

张明瑞严肃的跟那俩人说道，随即展开一系列操作。“所谓一抽三冲，指的就是，打开进气阀，把氧气的流量仪直接打到关闭。”

张明瑞一边说着，一边操作，没有一丝疏漏的完成了一抽三冲。“最后一点，要切记关闭旁抽，这是很重要的。”

张明瑞说着，那两人在旁边疯狂点头。“现在打开电磁闸，开始准备溅射。在对一个芯片溅射之前，我们要完成预溅射。”

张明瑞开始操作，每一步都处理的非常清晰，两个人都一丝不苟的观察着，学习着。“降低加热器衬底至标刻度19cm以下，将样品转到右靶，找到合适的位置，开始计时。”

整个实验室安静的只剩张明瑞自信有力的说话声，张明瑞一边给两人讲解，一边操作，还要腾出一只手来握着秒表。如果这个实验只有张明瑞自己一个人来实施的话，或许进度会提高一点，但和这两位经理一起，也不是坏事，这样他研制成功后，这两人也可以模拟了。“右靶溅射完毕，调到左靶继续溅射，步骤和刚刚都是一样的。”

张明瑞简单的说了一句就开始专心计时了。大概过了十分钟之久，芯片完成了溅射，薄膜逐渐形成，已经肉眼可见。“吴大哥，你过来帮我把芯片挪走，我现在要关闭一起。”

张明瑞招呼着吴经理，手一台一落，调节着频率，动作干脆利落。“关闭仪器也很重要，从上至下，依次关闭，流量计，闸板阀，分子泵要打到关闭，大概需要十分钟。”

“当冷却时间足够时，才能依次关闭分子泵电源和电磁闸，最后一步才是总电源。”

“关闭仪器的时候，一定要小心谨慎，不能一步出错，否则很容易引起机械故障发生爆炸。”

张明瑞语重心长的说道，似乎又想起了什么往事。搞科研的危险性，和随时面临着牺牲的精神，大概是很多人所抗拒的，这也是为什么在这个年代，搞科研的人越来越少的原因。