这时,白发老人突然想起了什么,紧接着问道: “这个计划先不要马上实行。既然徐佑今天还能与SPY先生交流技术问题,证明现在他的大脑,受损得还没有那么严重。等再过一阵子,有确定的消息了之后,再实施计划也不迟。”
“好的,先生。根据我们之前实验的结果,这样的病变是不可逆的,且会一直朝着继续恶化的方向发展。之后SPY先生会继续为我们提供信息。如果徐佑连SPY先生都见不了的话,那就真的说明,他已经没有思考的能力了。”
“嗯,准备得万全一些是最好的。除了徐佑之外,我们也要观察一下他身边人的表现,特别是他的那个女朋友。”
“明白,我们会持续关注的。”
…… 算经量子实验室。 徐佑正利用无线脑机的功能,与算经量子计算机,构成着连接通道。 从黄思白回国,加入到伏龙科技开始,前前后后已经为公司贡献了十余项EUV光刻机相关的技术。 这些技术,包括EUV光刻机的激光光源、工作台、镜头等等方面,每一项成果,都是实打实的关键技术,对于国产EUV光刻机来说,是非常重大的进展。 只是,因为一台光刻机涉及到的元件实在太多,且需要诸多产业链的企业共同配合,才能量产。 短时间内,还无法马上做出一台真正的EUV光刻机。 身为多个领域科研专家的徐佑,自然也明白这样的道理。 但如果说,能够让算经人工智能掌握这些知识,局势可就完全不同了。 通过无线脑机的功能,徐佑将自己的知识全部传输给了算经,并让算经理解了光刻机的意义。 在这样的情况下,徐佑继续开启着大脑仿真模拟的技能,利用算经的强大算力,在脑海中不断模拟着光刻机运转的过程,对各个元件的细节进行着优化。 此时,一台光刻机的上万个元件,都在徐佑的大脑中清晰可见。 “黄思白跟我讲的这些技术,确实都没有问题。”
通过严谨的模拟,徐佑确定了黄思白这些技术的真实性。 为了取得徐佑的信任,黄思白并没有对徐佑有任何的隐瞒,把自己了解到的东西,一五一十的都说给了徐佑。 从黄思白的讲述中,徐佑能够听出,这些技术并不是真正由黄思白自己研发出来的,更像是黄思白从某些渠道中得到的。 但对于徐佑来说,这些信息已经足够了。 在深度思考中,徐佑可以根据黄思白提供的信息,反推出更多有用的信息。 经过不断的模拟、计算、推演后,徐佑距离整套完善的EUV光刻机技术,已经越来越近了。 包括硅片的表面清洗烘干、涂底、旋转光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等等多道工序,不断在徐佑的脑海中重演着。 不知经历了多少次的推演,徐佑还是没有根据自己大脑中模拟的EUV光刻机,成功生产出合格的高精度芯片。 “不行……EUV光源的技术,还没有很好的解决。”
在EUV光刻机中,EUV光源无疑是最核心的设备。 想要让光刻机高效的工作,需要有足够亮的EUV光源才行。 在EUV光源方面,黄思白提供了一些技术,但并没有彻底的解决问题。 “等一下……极紫外辐射的光谱,似乎还有继续优化的空间!”
这时,徐佑突然注意到。 在正常的激光最佳聚焦位置下,入射激光能量和等离子体之间缺乏有效的耦合。 而其中的原因,是因为在最佳聚焦位置处,聚焦光斑尺寸较小,激光聚焦锥角也较小,等离子体吸收的能量会局限在中轴附近,影响等离子体对激光能量的吸收。 换句话说,所谓的“激光最佳聚焦位置”,很可能并不是EUV光谱强度最强的位置。 “如果调整一下聚焦光斑的尺寸……情况就会有所不同了。”
按照徐佑的理论,当聚焦光斑尺寸略微增大时,激光聚焦锥角也会跟着增大。 这样一来,激光能量会有效地分布在整个等离子体的前沿,等离子体可以有效地吸收激光能量,减少能量的损失。 当然,聚焦光斑尺寸不可以增大过多,否则的话,就会起到适得其反的效果了。 只是,虽然徐佑有了这些推论,但仅仅依靠自己的算力,是很难在有限的时间内,找到最佳的聚焦光斑尺寸的。 好在,徐佑可以依靠算经强大的算力,来大大提高自己的计算速度。 经过多次的计算,徐佑总算找到了EUV光谱强度最强的位置。 更换了新的EUV光源装置后,徐佑重新进行光刻机工作流程的推演。 正如徐佑所料想的一样,当光源的亮度大大增加后,光刻机的工作效率,也跟着提高了不少。 “如果能够按照这样的效率去工作,那这台EUV光刻机,是真的有可能投入到使用中的!”
确定了光刻机的设计方案,徐佑仍需要总结出各个部件的具体工艺。 因为,想要制造出像光刻机这样,如此精密的仪器。 仅仅依靠设计图,是远远不够的。 如果没有具体的工艺,即使拿到了设计图,也并不代表就能把光刻机整个制造出来。 徐佑顾不上休息,继续和算经一起,进行着接下来的工作。 …… 在徐佑的实验室中,林诗正在焦急的向崔颖询问着什么。 “崔老师,徐老师今天怎么又没来实验室?需不需要我们去看一看他啊?”
“不必了,徐老师最近可能有些劳累,需要休整一段时间,暂时就不先不出现在实验室了。林诗,就算徐老师不在,你也要做好带头作用,继续几个项目的研究工作。”
“好的,崔老师,我知道了。”
林诗心里隐约还是有些担心徐佑,不过既然崔颖这么说,林诗也不好再问什么。 徐佑不在的时候,林诗更应该挑起大梁,继续徐佑未完成的科研项目。 正在这时,实验室的大门突然被敲响。